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ECO/ PRNewswire - O Imec demonstra a primeira fabricação em escala de wafer de nanoporos de estado sólido usando litografia EUV
O avanço possibilita aplicações ajustáveis e de alta precisão em biossensoriamento em ciências da vida e saúde
LEUVEN, Bélgica, 9 de dezembro de 2025 /PRNewswire/ --
O Imec conseguiu a primeira fabricação bem-sucedida em escala de wafer de nanoporos em estado sólido usando litografia EUV em wafers de 300 mm. Essa inovação transforma a tecnologia nanopore de um conceito em escala de laboratório em uma plataforma ajustável para biossensoriamento, genômico e proteômico.Nanoporos são considerados transformadores para genômica e proteômica, mas, até agora, nanoporos de estado sólido nunca foram produzidos em massa devido a desafios de variabilidade e integração. O avanço do Imec abre caminho para matrizes de biossensores de alta capacidade e compatíveis com CMOS, que podem acelerar a medicina personalizada, diagnósticos rápidos e armazenamento de dados moleculares.Fabricação em escala de wafer usando litografia EUV em wafers de 300 mm de nanoporos de até ~10 nm com alta uniformidade através do wafer. O processo de fabricação se apresenta como uma promessa para alcançar tamanhos de poros abaixo de 5 nm com aprimoramentos adicionais nas técnicas de integração do processo. A caracterização da translocação elétrica e bio-molecular demonstrou uma alta relação sinal-ruído de 6,2."O Imec está em uma posição única para dar esse salto. Podemos aplicar a litografia EUV - tradicionalmente reservada para memória e lógica - às ciências da vida. Ao aproveitar nossa infraestrutura de litografia, mostramos que os nanoporos em estado sólido podem ser fabricados em escala com a precisão necessária para o sensoriamento molecular", disse Ashesh Ray Chaudhuri, primeiro autor e gerente de projetos de P&D no Imec. "Isso abre a porta para matrizes de biossensores de alta capacidade para cuidados médicos e muito mais."Sobre o ImecO Imec é um centro de pesquisa e inovação líder mundial em tecnologias avançadas de semicondutores. Aproveitando sua infraestrutura de P&D de ponta e a experiência de mais de 6.500 funcionários, o Imec impulsiona a inovação em escalabilidade de semicondutores e sistemas, inteligência artificial, fotônica de silício, conectividade e sensoriamento.
A pesquisa avançada do Imec possibilita avanços em uma ampla gama de setores, incluindo computação, saúde, automotivo, energia, infoentretenimento, indústria, agroalimentar e segurança. Através do IC-Link, o Imec orienta as empresas em cada etapas da jornada do chip, desde o conceito inicial até a fabricação em larga escala, fornecendo soluções personalizadas adaptadas para atender às necessidades mais avançadas de design e produção.
O Imec colabora com líderes globais de toda a cadeia de valor dos semicondutores, bem como com empresas de tecnologia, startups, universidades e instituições de pesquisa em Flandres e em todo o mundo. Com sede em Leuven, Bélgica, o IMEC possui instalações de pesquisa na Bélgica, na Europa e nos EUA, e com representação em três continentes. Em 2024, o Imec registrou receita de ? 1,034 bilhão. Para mais informações, acesse [www.imec-int.com|https://edge.prnewswire.com/c/link/?t=0&l=pt&o=4574050-1&h=1022367046&u=https%3A%2F%2Fedge.prnewswire.com%2Fc%2Flink%2F%3Ft%3D0%26l%3Den%26o%3D4574050-1%26h%3D2314460342%26u%3Dhttps%253A%252F%252Furldefense.com%252Fv3%252F__http%253A%252Fwww.imec-int.com__%253B!!IHJ3XrWN4X8!JLRsNJKiP8GvBOP_UF2enrB-5PScTqDfDl8DSiYqL3R74CGsNqUd9bB3fChFYSWjCYXgQ5OifkLtmWLnhKazhWgm%2524%26a%3Dwww.imec-int.com&a=www.imec-int.com]
Comunicado de imprensa completo: [https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography|https://edge.prnewswire.com/c/link/?t=0&l=pt&o=4574050-1&h=3405238751&u=https%3A%2F%2Fedge.prnewswire.com%2Fc%2Flink%2F%3Ft%3D0%26l%3Den%26o%3D4574050-1%26h%3D226373229%26u%3Dhttps%253A%252F%252Furldefense.com%252Fv3%252F__https%253A%252Fwww.imec-int.com%252Fen%252Fpress%252Fimec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography__%253B!!IHJ3XrWN4X8!J7Kx5ZERfXw0cKf6zz0vpqkeJVwYqsNHg1kcvfwDLhLS6VRgUv-g5USiul6Oc1BMFNZFbemIG9S5dXxZEy3Kt4Cj%2524%26a%3Dhttps%253A%252F%252Fwww.imec-int.com%252Fen%252Fpress%252Fimec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography&a=https%3A%2F%2Fwww.imec-int.com%2Fen%2Fpress%2Fimec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography]
Logo - [https://mma.prnewswire.com/media/2839859/imec_Logo.jpg|https://edge.prnewswire.com/c/link/?t=0&l=pt&o=4574050-1&h=1241092814&u=https%3A%2F%2Fmma.prnewswire.com%2Fmedia%2F2839859%2Fimec_Logo.jpg&a=https%3A%2F%2Fmma.prnewswire.com%2Fmedia%2F2839859%2Fimec_Logo.jpg]
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FONTE Imec